深紫外(DUV)和极深紫外(EUV)探测器在光刻、天文监测以及国防预警等诸多领域具有非常广阔的应用前景。在适用于DUV和EUV探测的所有

深紫外线检测技术具有重要的应用，例如紫外线成像，紫外线/红外线双重引导，预警系统，紫外线通讯，紫外线干扰等。中国科学技术