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微电子研究所在氮化镓—金刚石异质集成方面取得新进展
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苏州纳米所团队在石墨烯调控的氮化镓远程外延机理研究获新进展
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:上海光机所计算光刻技术研究取得进展
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院长白春礼:在光刻机、高端芯片等方面,集结精锐力量组织系统攻关
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