促进宽禁带半导体产业化的关键外延技术The key epitaxial technology to promote the industrialization of wide bandgap semiconductors方子文德国爱思强股份有限公司中国区副总经理FANG ZiwenDeputy General Manage，China AIXTRON SE

德国爱思强产品管理总监Jens VOIGT介绍了《用于RGB Micro-LED大批量制造的MOCVD解决方案》主题报告。他介绍说，爱思强的行星式反应器平台是生产具有最高一致性、重复性和缺陷控制标准的化合物半导体器件的已建立的平台，例如用VCSEL激光器证明的3D传感器技术，这是当前高容量需求的关键驱动因素之一。同样的要求组合也适用于Micro-LED技术：在低的缺陷水平下，结合外延层的高通量结构具有非常高的精度。行星式反应器平台技术已经被

德国爱思强股份有限公司Vincent MERIC分享了化合物半导体外延量产解决方案，讨论6英寸到8英寸的GaAs VCSEL激光器、GaN/InGaAs Mi

对话内容：Micro LED在今年吸引了大家的眼球，由于其优良的光电学特性，Micro LED很有希挑战现有的LCD及OLED技术，掀起一场显示器技术的革命。在2018年10月24日召开的ChinaSSL会议上，联盟有幸采访到来自德国爱思强的产品线总监Jens Voigt博士。Voigt博士自2001年加入AIXTRON并担任外延工艺科学家一职，主要负责氮化镓MOCVD外延生长以满足LED生产需求。他现任德国爱思强产品线总监，负责MOCVD外延机台的销售，服务以及市场拓展工作。此次Voigt博士针对Mic

德国爱思强股份有限公司电力电子器件副总裁Frank WISCHMEYER先生分享了，就高生产率的碳化硅同质外延的程序在大容量生产反应器当中的表现主题报告。他表示，用于高产量生产的高增长率SiC同质外延工艺生长的大容量生产反应器，它是在于每小时二十五微米，更好地，更快速地长外延材料，那么也是在生产领域对于生产厂家来说是一个好事，那么同时它这个结果在之间出的效果，尤其是在一千二百伏元器件体现出来。预计2018年这种全面的自动化技术的使用，会使得我们整个产业会有大量的一个客户量的增长。

爱思强全球副总裁Michael HEUKEN ：Micro LED显示屏-高产率MOCVD工艺路径。报告中，Michael HEUKEN 分享了关于 Micro LED相关设备的研究进展及成果，也包括一些生产平台等技术。他同时表示，未来非常期待手机显示器就.....请您在WIFI条件下观看！或下载极智APP收藏反复观看！