大连理工大学副教授张赫之：利用高Al组分β-(AlGa)2O3缓冲层在蓝宝石衬底上优化生长高质量β-Ga2O3厚膜

视频IFWS > IFWS20222024-11-02 20:08

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利用高Al组分-(AlGa)2O3缓冲层在蓝宝石衬底上优化生长高质量-Ga2O3厚膜Growth of high quality - Ga2O3 thick film on sapphire by using high Al content - (AlGa)2O3 buffer layer张赫之大连理工大学副教授ZHANG HezhiAssociate professor of Dalian University of Technology

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