大连理工大学张赫之： 两步法在蓝宝石衬底上生长高质量β-Ga2O3厚膜的研究

视频MOCVD20222023-12-06 10:56
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两步法在蓝宝石衬底上生长高质量-Ga2O3厚膜的研究张赫之，张嵩，董增印，张文辉，程丽媛，梁红伟*大连理工大学中国电子科技集团公司第四十六研究所
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