中山大学王钢:基于金属有机化学气相沉积的ε-Ga2O3薄膜异质外延及其在场效应晶体管中的应用

视频MOCVD20222024-11-20 09:20
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基于金属有机化学气相沉积的-Ga2O3薄膜异质外延及其在场效应晶体管中的应用王钢*,陈伟驱,罗浩勋,陈梓敏,卢星,裴艳丽中山大学
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