吴亮:PVT法同质外延生长高质量2英寸Al极性AlN单晶研究

视频WBSC 20212024-09-04 14:52
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《PVT法同质外延生长高质量2英寸Al极性AlN单晶研究》作者:李哲,张刚,雷丹,黄嘉丽,付丹扬,王琦琨,吴亮单位:奥趋光电技术(杭州)有限公司
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