汪洋：半导体用SiC涂层石墨托盘的制备与国产化

视频WBSC 20212024-07-23 15:42
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《半导体用SiC涂层石墨托盘的制备与国产化》作者：汪洋，万强单位：湖南德智新材料有限公司，南京工业大学材料科学与工程学院
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