余佳东：等离子体密度对ICP-MOCVD生长GaN薄膜的影响

视频WBSC 20212023-11-26 12:42
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《等离子体密度对ICP-MOCVD生长GaN薄膜的影响》作者：余佳东，罗毅，王健，张子轩，李翔，汪莱，郝智彪单位：北京信息科学与技术
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