刘志彬：溅射中痕量氧气对高温退火AlN模板的极性调节作用

视频WBSC 20212023-05-22 16:43
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《溅射中痕量氧气对高温退火AlN模板的极性调节作用》作者：刘志彬，郭亚楠，闫建昌，曾一平，李晋闽，王军喜单位：中国科学院半
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