陈荔：基于高温热退火技术的半极性AlN外延薄膜缺陷演化研究

视频WBSC 20212024-11-01 16:47
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《基于高温热退火技术的半极性AlN外延薄膜缺陷演化研究》作者：陈荔，郭炜，林伟，陈航洋，康俊勇，叶继春单位：中国科学院宁波
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