极智报告|北方华创第一刻蚀BU副总经理刘利坚：LED工业中的干法刻蚀工艺技术和关键设备

视频2024-10-19 16:35
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北京北方华创微电子装备有限公司第一刻蚀BU副总经理刘利坚介绍了LED工业中的干法刻蚀工艺技术和关键设备。刘利坚长期以来从事高端微电子装备设计开发工作，对于等离子体刻蚀和PECVD设备的硬件设计和工艺应用有丰富经验。刘利坚介绍了等离子刻蚀的一些技术问题，并具......
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