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英诺激光：公司已实现批量供应碳化硅退火制程的激光器
 评论 ⋅  2024-09-11 12:00
中欣晶圆“12寸退火片的制造方法”专利公布
 评论 ⋅  2024-07-19 11:31
山东大学碳化硅高温退火炉采购公开招标公告
 评论 ⋅  2024-01-17 10:10
瑶光半导体首批激光退火设备下线并交付
 评论 ⋅  2023-10-10 11:57
瑶光半导体1期工厂投入运营，国内率先量产SiC激光退火设备
 评论 ⋅  2023-08-24 15:07
炬光科技：公司为上海微电子装备等集成电路芯片设备集成商提供半导体激光退火系统及及核心元器件
炬光科技上海微电子装备集成电路芯片设备集成商半导体激光退火元器件
 评论 ⋅  2022-01-18 08:41
大连理工大学王德君教授：SiC MOS器件氧化后退火新途径--低温再氧化退火技术
大连理工大学王德君教授SiCMOS器件氧化后退火低温再氧化退火技术
 评论 ⋅  2021-12-10 09:28
英诺激光：目前公司产品在芯片制造领域的应用为晶圆加工缺陷检测、碳化硅退火等制造工序
英诺激光芯片制造晶圆加工缺陷检测碳化硅退火等制造工序
 评论 ⋅  2021-07-26 10:54
中科院苏州纳米所张璇：二次注入和活化退火提高室温铝注入剂量
 评论 ⋅  2020-12-09 16:22
电子科技大学刘成艺：n型4H-SiC上Ti/TiN/Pt欧姆接触电极在空气中高温退火处理的失效机理研究
 评论 ⋅  2020-12-03 17:58
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