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杭州镓仁半导体申请氧化镓单晶衬底抛光片划片方法专利，减少切割道周边晶片解理、崩裂和微
裂纹
等缺陷的产生
清华航天航空学院李晓雁课题组揭示含不同多型体纳米孪晶金刚石的增韧和
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清华航天航空学院
李晓雁
课题组
纳米孪晶
金刚石
增韧
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