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华海清科“用于
晶圆加工
的承载头及化学机械抛光设备”专利公布
广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线,具有8英寸硅晶圆和氮化镓
晶圆加工
能力
英诺激光:目前公司产品在芯片制造领域的应用为
晶圆加工
缺陷检测、碳化硅退火等制造工序
英诺激光
芯片制造
晶圆加工
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碳化硅
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