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广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线,具有8英寸硅晶圆和氮化镓
晶圆加工
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英诺激光:目前公司产品在芯片制造领域的应用为
晶圆加工
缺陷检测、碳化硅退火等制造工序
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