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粤芯半导体申请
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机对准方法专利,平衡晶圆中切割道与芯片的研磨速率
中芯国际申请
光刻
机焦距监控相关专利,实现在线焦距监控且对产品晶圆图形影响小
尼康官宣旗下首款半导体后端工艺用
光刻
机
Nature Photonics | 基于深紫外microLED显示的无掩膜
光刻
技术与应用示范
国产半导体专用
光刻
胶领域实现重大突破,已通过量产验证!
中科大孙海定iGaN实验室研究三维垂直集成microLED阵列实现无掩膜深紫外
光刻
新技术
浙江奥首材料科技申请一种用于半导体化合物
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胶的剥离液专利,减少剥离液中的腐蚀
威迈芯材年产100吨半导体高端
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材料项目封顶 总投资3亿元
工信部推广国产DUV
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机,最小套刻精度≤8nm
威迈芯材年产100吨半导体高端
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材料项目主体结构全面封顶
智芯微“
光刻
胶均匀覆盖晶圆表面的仿真方法”专利公布
福建泓光半导体材料取得一种
光刻
胶自动过滤装置专利,提高工作效率
国内首台超大尺寸钙钛矿高速激
光刻
蚀成套设备发布
光谷实验室研发出高性能量子点
光刻
胶
湃邦半导体
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胶项目在海宁投产!
极紫外
光刻
新技术问世 能大幅提高能源效率并降低半导体制造成本
安徽首片!晶合集成
光刻
掩模版成功亮相
冠石半导体入场首台先进电子束掩模版
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机
复旦大学研发半导体性
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胶,实现特大规模集成度有机芯片制造
三井化学将量产
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薄膜新品,支持ASML下一代
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机
光刻
机制造商ASML扩建计划获表决通过
容大感光拟募资2.45亿元建设高端感光线路干膜
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胶项目
微芯新材料年产千吨电子级
光刻
胶原材料项目动工
俄罗斯首台
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机制造完成:可生产350纳米工艺芯片
宜兴中车时代中低压功率器件项目首台
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机搬入
芯源微广州子公司
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胶泵及高纯供液系统产业化项目开工
ASML High-NA EUV
光刻
机取得突破,成功印刷10nm线宽图案
国内首台大芯片先进封装专用
光刻
机交付入厂
九峰山实验室+华中科大联合攻关,一种新型
光刻
胶技术完成初步工艺验证
威迈芯材100吨半导体高端
光刻
材料项目奠基
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