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芯碁微装:8.25亿元定增申请获上交所受理 将加大直写
光刻设备
产业布局
全球首台:苏大维格大型紫外3D直写
光刻设备
iGrapher3000投入运行
光刻
形貌
制备
光电子
器件
结构
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芯源微成功上市,成为中国半导体
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上市“第一股”
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