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广州南砂晶圆半导体技术取得交流电阻加热器及SiC
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装置专利,提高晶体生长速度且有助于4H‑SiC晶型稳定
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北京大学教授于彤军:大尺寸AlN
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IFWS 2023│晶格领域张泽盛:液相法碳化硅
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