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粤芯半导体申请
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机对准方法专利,平衡晶圆中切割道与芯片的研磨速率
中芯国际申请
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机焦距监控相关专利,实现在线焦距监控且对产品晶圆图形影响小
尼康官宣旗下首款半导体后端工艺用
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机
国产半导体专用
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胶领域实现重大突破,已通过量产验证!
浙江奥首材料科技申请一种用于半导体化合物
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胶的剥离液专利,减少剥离液中的腐蚀
威迈芯材年产100吨半导体高端
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材料项目封顶 总投资3亿元
工信部推广国产DUV
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机,最小套刻精度≤8nm
威迈芯材年产100吨半导体高端
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材料项目主体结构全面封顶
智芯微“
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胶均匀覆盖晶圆表面的仿真方法”专利公布
福建泓光半导体材料取得一种
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胶自动过滤装置专利,提高工作效率
国内首台超大尺寸钙钛矿高速激
光刻
蚀成套设备发布
光谷实验室研发出高性能量子点
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胶
湃邦半导体
光刻
胶项目在海宁投产!
安徽首片!晶合集成
光刻
掩模版成功亮相
冠石半导体入场首台先进电子束掩模版
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机
三井化学将量产
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薄膜新品,支持ASML下一代
光刻
机
光刻
机制造商ASML扩建计划获表决通过
容大感光拟募资2.45亿元建设高端感光线路干膜
光刻
胶项目
微芯新材料年产千吨电子级
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胶原材料项目动工
俄罗斯首台
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机制造完成:可生产350纳米工艺芯片
宜兴中车时代中低压功率器件项目首台
光刻
机搬入
芯源微广州子公司
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胶泵及高纯供液系统产业化项目开工
ASML High-NA EUV
光刻
机取得突破,成功印刷10nm线宽图案
国内首台大芯片先进封装专用
光刻
机交付入厂
威迈芯材100吨半导体高端
光刻
材料项目奠基
中荷双方重点就
光刻
机输华和加强半导体产业合作等议题深入交换意见
ASML 首台新款 EUV
光刻
机 Twinscan NXE:3800E 完成安装
迪道微电子完成新一轮数千万元融资,专注
光刻
胶产品研发
盛美上海:
光刻
机的购入选择,KrF-line是首要目标
ASML:多款
光刻
机2024年将不会获得对华出口许可
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