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中国电科
实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖
中国电科
55所高性能高可靠碳化硅MOSFET 技术及应用通过技术鉴定
湖南大学与
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48所开展战略合作 共同推进半导体产业快速发展
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高能离子注入机研制获重大突破 系芯片制造核心装备
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