国家知识产权局信息显示，广东比亚迪节能科技有限公司申请一项名为“MEMS器件及其封装方法”的专利，公开号CN 119822314 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本公开涉及一种MEMS器件及其封装方法，MEMS器件包括主体晶圆（1）和衬底晶圆（2），所述主体晶圆（1）包括MEMS敏感结构（11）和第一导电层（12），所述MEMS敏感结构（11）包括多个分体部（111），所述分体部（111）具有底面（1111），多个所述底面（1111）齐平设置，以构造为所述MEMS敏感结构（11）的底平面（112），所述第一导电层（12）与所述底平面（112）抵接，且所述第一导电层（12）与所述衬底晶圆（2）电连接。通过上述技术方案，本公开提供的MEMS器件中主体晶圆与衬底晶圆的封装难度较小，二者更容易集成在一起。
天眼查资料显示，广东比亚迪节能科技有限公司，成立于2013年，位于惠州市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，广东比亚迪节能科技有限公司参与招投标项目5次，专利信息48条，此外企业还拥有行政许可28个。
