镓特半导体取得一种HVPE大尺寸氮化镓晶圆镓舟反应器专利,能够提升氮化镓晶圆片生长尺寸

日期:2025-03-31 阅读:217
核心提示:国家知识产权局信息显示,镓特半导体科技(铜陵)有限公司取得一项名为一种HVPE大尺寸氮化镓晶圆镓舟反应器的专利,授权公告号CN

 国家知识产权局信息显示,镓特半导体科技(铜陵)有限公司取得一项名为“一种HVPE大尺寸氮化镓晶圆镓舟反应器”的专利,授权公告号CN 222684835 U,申请日期为2024年3月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种HVPE大尺寸氮化镓晶圆镓舟反应器,包括:镓舟;镓反应室;主进气管;副进气口;气体流通口,所述气体流通口开设在多层反应室内除最底层的其余反应室内;镓反应出口,所述镓反应出口开设在镓反应室的底部;混合室,所述混合室设置在镓舟内部且位于镓反应室的底部;反应主出口,所述反应主出口开设在混合室的底部中央区域;反应副出口,所述反应副出口开设在混合室的底部边缘区域;主出气管,所述主出气管一端与混合室的底部连接将反应主出口和反应副出口分隔,另一端与镓舟的底部中央连通;副出气管。本实用新型的有益效果是主副出气管排出的气体,都能够均匀的在衬底表面沉积,可以提升氮化镓晶圆片生长尺寸。

天眼查资料显示,镓特半导体科技(铜陵)有限公司,成立于2017年,位于铜陵市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本42000万人民币,实缴资本4500万人民币。通过天眼查大数据分析,镓特半导体科技(铜陵)有限公司参与招投标项目11次,专利信息31条,此外企业还拥有行政许可14个。

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