半导体产业网讯：在半导体材料领域，碳化硅（SiC）作为第三代半导体材料的代表，因其卓越的性能而备受关注。然而，高品质低成本碳化硅晶体的生长一直是行业内的技术难题。今天，常州臻晶半导体有限公司凭借其创新的液相法碳化硅电阻炉技术，为这一领域带来了全新的解决方案，其产品以独特的差异化特点脱颖而出，引领着行业发展的新潮流。
6-8英寸液相法碳化硅电阻炉
一、创新技术，突破行业瓶颈
（一）液相法单晶炉制造技术
常州臻晶半导体自主研发的液相法单晶炉，采用了先进的设计理念和制造工艺。该单晶炉具有6 - 8英寸大直径设计，能够满足不同尺寸晶体生长的需求。同时，它还具备多点温度实时精确监控功能，从而实现对温场空间的实时稳定调控。这种精准的温度控制能力，使得固液界面状态能够得到实时调控，为碳化硅晶体的稳定生长提供了有力保障。通过这一技术，常州臻晶半导体成功解决了传统气相PVT长晶技术中存在的温度高、不可实时监控、长晶厚度薄、扩径难等问题，实现了碳化硅晶体生长技术的重大突破。
（二）多元活性助溶技术
在碳化硅晶体生长过程中，碳源的供应至关重要。常州臻晶半导体的多元活性助溶技术，通过使用优化助熔剂配方，增加了高温区碳源的供应，从而提高了溶碳量。这一技术的应用，不仅提升了晶体生长的速率，还有效提高了晶体的良率。与传统的碳源供应方式相比，多元活性助溶技术能够更好地实现碳源的快速持续可控供应，为碳化硅晶体的高质量生长提供了充足可控的碳源。
（三）液相法SiC长时间稳定长晶工艺
常州臻晶半导体的液相法SiC长时间稳定长晶工艺，是其产品差异化的核心竞争力之一。该工艺通过精确控制生长参数，实现了碳化硅晶体的可控生长。这种可控性不仅体现在晶体生长的速度和质量上，还体现在晶体的尺寸和形状上。通过这一工艺，常州臻晶半导体能够生产出高品质、大尺寸、形状规则的碳化硅晶体，满足了市场对于高性能碳化硅材料的需求。此外，该工艺还具有生长效率高、能耗低等优点，符合新时代低能耗的发展要求，为客户降低了生产成本，提高了经济效益。
二、卓越性能，满足高端需求
（一）高品质晶体
常州臻晶半导体的液相法碳化硅电阻炉所生长的晶体，具有“0”微管、“极低”位错的优异品质。拉曼光谱分析结果显示单晶100%为4H晶型，单晶X射线衍射摇摆曲线测试显示FWHM为20弧秒，表明晶体结构完整，缺陷少。这种高品质的碳化硅晶体，能够满足高端半导体器件制造对于材料的严格要求，为新能源汽车、数据中心、AR眼镜、智能电网等战略性新兴产业的发展提供了坚实的材料基础。
（二）易扩径与易长厚
液相法碳化硅晶体生长技术在扩径和长厚方面具有天然的优势。由于其生长原理、物质传输特性及热力学稳定性等因素，使得晶体易于扩径至8英寸及以上尺寸，同时也能够实现较厚晶体的生长，极限长晶厚度可达6cm以上。这对于满足未来大尺寸碳化硅器件制造的需求具有重要意义。大尺寸、厚晶体的碳化硅材料，能够提高器件的性能和可靠性，为高端半导体器件及光学应用的研发和生产提供了更广阔的空间。
三、完善产品及服务，助力客户成功
（一）热场工艺包及服务
常州臻晶半导体还可为客户提供专业的热场工艺包。设备交付同时，公司可以提供长晶所需的全套热场及原材料，安排专人到客户处使用交付设备进行长晶演示，全程示范操作工艺。在演示过程中，同步对客户指定人员进行工艺培训，帮助客户掌握先进的碳化硅晶体生长工艺。对于客户在自主长晶过程中遇到的问题，公司会及时进行评估并提供专业的解答，助力客户成功生产出高品质的碳化硅晶体。
（二）配套液相法籽晶粘接炉（带柔性粘接工艺包）
在液相法碳化硅晶体生长领域，常州臻晶半导体的柔性粘接工艺堪称一项奇妙创新。该工艺采用先进的粘接技术，确保在晶体生长完成后，能够实现零损伤地取出单晶。这一技术突破，不仅最大程度地保留了晶体的完整性，还为后续的加工和应用提供了极大的便利。与传统的粘接方法相比，柔性粘接工艺在晶体生长过程中能够更好地适应晶体的热膨胀和收缩，避免了因应力集中而导致的晶体裂纹和损伤。这种对晶体生长应力的优化改善，使得晶体的质量和性能得到了显著提升，满足了高端半导体器件制造对于材料的严格要求。
6-8英寸液相法碳化硅籽晶粘接炉
（三）设备售后
常州臻晶半导体拥有一支专业高效的售后服务团队，始终以服务客户为第一原则。在设备安装调试方面，公司承诺设备到达现场后1个工作日内安排人员进行安装调试，确保设备能够快速投入使用。设备安装调试完成后1个工作日内，公司会提供设备操作指导，并提供详细的操作手册，帮助客户快速掌握设备的使用方法。此外，公司还会提供设备保养指南，并对客户进行日常维护指导，延长设备的使用寿命。在故障诊断及维修方面，常州臻晶半导体提供快速响应服务，自设备验收合格之日起1年内，2小时响应，8小时反馈，第一时间为客户解决设备使用过程中遇到的问题。这种全方位、高效率的售后服务，为客户提供了坚实的后盾，让客户在使用设备过程中无后顾之忧。
四、合作优势，共创美好未来
选择常州臻晶半导体的液相法碳化硅电阻炉，您将获得以下合作优势：
（一）技术领先
常州臻晶半导体在液相法碳化硅晶体生长技术方面处于行业领先地位。公司拥有一支由陆敏博士等多位资深专家组成的研发团队，他们在化合物半导体领域拥有几十年的研发及产业化经验。团队人员承担或参与了多项国家发改委、工信部、科技部重点研究计划、863、973和国家自然科学基金等科技及产业化项目。公司申请国内发明专利40件，授权30件，起草并发布国际标准1项，国家标准4项。与常州臻晶半导体合作，您将能够享受到行业内最前沿的技术成果，为您的企业发展注入强大的动力。
（二）产品可靠
常州臻晶半导体的液相法碳化硅电阻炉经过严格的质量检测和工艺验证，具有稳定可靠的性能。公司建立了完善的质量管理体系，从原材料采购到产品生产，再到最终的出厂检测，每一个环节都严格把控，确保产品的质量和性能，公司已通过IATF16949认证。选择常州臻晶半导体的产品，您将获得高品质、高性能的设备，为您的生产运营提供可靠的保障。
（三）服务专业
常州臻晶半导体始终坚持以客户为中心，为客户提供专业、高效、贴心的服务。无论是设备的安装调试、操作培训，还是后期的维护保养、故障维修，公司都能够提供全方位、一站式的解决方案。此外，公司还为客户提供工艺服务支持，帮助客户提升生产效率，降低生产成本，提高产品质量。与常州臻晶半导体合作，您将享受到专业、高效的服务体验，让您的企业发展更加顺畅。
（四）共同发展
常州臻晶半导体致力于与客户建立长期稳定的合作关系，共同推动碳化硅半导体产业的发展。公司愿意与客户分享技术经验，共同探索新的应用场景和市场机会。通过与常州臻晶半导体的合作，您将能够借助公司的技术优势和市场资源，实现企业的快速发展，共同开创美好的未来。常州臻晶半导体有限公司的液相法碳化硅电阻炉，以其创新的技术、卓越的性能和完善的服务，为碳化硅晶体生长领域带来了全新的解决方案。选择常州臻晶半导体，您将获得行业内领先的技术支持、高品质的产品设备和专业高效的服务保障。让我们携手共进，共创碳化硅半导体产业的美好明天！
