据合肥市投资基金协会消息，近日，优睿谱半导体设备有限公司（以下简称“优睿谱”）宣布成功完成新一轮融资，此轮融资由合肥产投资本独家投资。
优睿谱成立于2021年9月，是一家专注于半导体前道量测设备研发的企业，总部位于上海浦东新区张江高科技园区，同时在浦东金桥设立研发中心，于无锡高新区搭建技术中心。该公司创始人余先育毕业于武汉科技大学，后获上海交通大学微电子学与固体电子学硕士学位。他在半导体行业拥有丰富且深厚的履历，2006 - 2009年于美国应用材料（以色列PDC总部）担任全球技术支持工程师，积累了国际化的前沿技术经验；2010 - 2021年间，任职睿励科学仪器（上海）有限公司市场总监，对市场运营有着精准的洞察力与丰富的实践经验。长达15年的行业深耕，为优睿谱的创立与发展奠定了坚实基础。
据悉，优睿谱生产的FTIR设备Eos200Lite已获得多家头部碳化硅基外延厂订单，主要用于测量外延片外延层的厚度和均匀性，同时，Eos200/200 +、Eos300/300 +等设备也收获众多订单。
2022年8月，优睿谱宣布完成数千万元Pre-A轮融资，由弘卓资本领投、银珠资本、南京信达诚惠以及合肥众余等跟投。资金主要用于半导体专用FTIR测量设备Eos200/Eos300、Selene系列产品的量产及新设备的开发。
2023年7月，优睿谱官宣完成近亿元A轮融资，由基石浦江领投，浑璞投资、星河资本、中南创投、泓湖资本、杭州盟合、景宁灵岸等跟投。资金用于新产品的研发及量产。
2024年7月25日，优睿谱官宣于近日完成新一轮数千万元的融资，由君子兰资本领投，境成资本、琢石投资、南通海鸿金粟等跟投。资金主要用于晶圆边缘检测设备SICE200、晶圆电阻率量测设备SICV200、晶圆位错及微管检测设备SICD200、多种半导体材料膜厚测量设备Eos200DSR等多款设备的量产，新布局产品的研发以及团队的扩充。
