国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，公开号 CN 119495543 A，申请日期为2023年8月。
专利摘要显示，本发明提供一种工艺腔室，包括：腔体、设置于腔体内的隔离组件和射频线圈，射频线圈用于激发发生腔的气体产生等离子体，射频线圈的两端包括引出段和引入段，引出段和引入段贯穿腔体并伸至腔体外；第一密封组件，连接于引出段和引入段以及腔体，用于密封引出段和引入段贯穿腔体的位置；第二密封组件，连接于引出段和引入段，用于密封第一密封件与引出段和引入段之间的连接处。本公开不仅利用第一密封组件对封引出段和引入段贯穿腔体的位置进行密封，还利用第二密封组件对第一密封件与引出段和引入段之间的连接处也进行了密封双重密封提高了在射频线圈处的密封性。本申请还提供了一种半导体工艺设备。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1007次，知识产权方面有商标信息38条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
