国家知识产权局信息显示，九奕半导体设备（上海）有限公司取得一项名为“一种光刻机的送料机构”的专利，授权公告号CN 222330713 U，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种光刻机的送料机构，本实用新型涉及光刻机技术领域，包括送料装置本体，送料装置本体的顶部以及底部分别安装有限位组件、调节组件和稳定组件，调节组件包括驱动电机、固定板、涂胶辊以及连接柱，驱动电机的输出端与固定板的一侧花键连接，连接柱的一端转动连接于固定板的另一侧，并且固定板的内部螺纹连接有螺纹栓，连接柱的另一端固定连接于涂胶辊的一端，本实用新型的优点在于：通过对固定板位置的移动，来带动连接柱以及涂胶辊进行同步运动，再配合螺纹栓将调节后固定板的位置进行固定，从而使得涂胶辊能够根据不同的硅片厚度来调整自身与传送带之间的距离，使得硅片在涂布的过程中更加均匀。
天眼查资料显示，九奕半导体设备（上海）有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，九奕半导体设备（上海）有限公司专利信息8条，此外企业还拥有行政许可1个。
