国家知识产权局信息显示，广东天域半导体股份有限公司取得一项名为“一种水平气流SiC外延设备石英钟罩内壁清洁工具”的专利，授权公告号CN 222241784 U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种水平气流SiC外延设备石英钟罩内壁清洁工具，包括手持杆和清洗头，手持杆的一端与清洗头连接，清洗头的外侧面设有中间环形凹槽和两个侧环形凹槽，中间环形凹槽位于两个侧环形凹槽之间，中间环形凹槽内间隔设有多个真空吸气孔，两个侧环形凹槽内均间隔设有多个氩气吹气孔，手持杆的轴向为中空结构，中空结构内设有真空管道和氩气管道。本实用新型能够对圆筒形石英钟罩的内壁进行擦拭、吸尘、气吹三个清洁功能合到一起，清洁覆盖面更全：与圆筒形石英钟罩的内壁具有更好的贴合性，能保证石英钟罩的清洁效果符合炉膛反应需求。
天眼查资料显示，广东天域半导体股份有限公司，成立于2009年，位于东莞市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本36319.8011万人民币，实缴资本36319.8011万人民币。通过天眼查大数据分析，广东天域半导体股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目112次，知识产权方面有商标信息8条，专利信息108条，此外企业还拥有行政许可65个。
