华海清科自主研发清洗装备已批量用于晶圆再生生产

日期:2024-12-24 阅读:228
核心提示:12月23日,华海清科在投资者互动平台表示,公司CMP装备包含清洗模块,清洗技术均为公司自主研发,基于公司在此领域的技术积淀和

 12月23日,华海清科在投资者互动平台表示,公司CMP装备包含清洗模块,清洗技术均为公司自主研发,基于公司在此领域的技术积淀和集成电路客户需求,公司积极开展清洗装备的研发工作,主要面向材料端的终端清洗市场需求。公司自主研发的清洗装备已批量用于公司晶圆再生生产,应用于4/6/8英寸化合物半导体的刷片清洗装备和12英寸单片终端清洗机已实现首台验收,清洗产品进展顺利。

此前,华海清科在接受机构调研时表示,近年来,公司产品性能指标和可靠性等得到客户的高度认可,市场占有率逐年提升,今年新签订单饱满,CMP装备、晶圆再生等订单均有不错增幅,减薄装备已取得多个领域头部企业的批量Demo订单,在手订单充足。

华海清科还积极把握Chiplet和HBM等先进封装领域的发展机遇,全面布局减薄装备、划切装备、边抛装备等,持续推进相关装备的研发验证工作。12英寸超精密晶圆减薄机Versatile–GP300已于第三季度通过验收;满足集成电路、先进封装等制造工艺的12英寸晶圆边缘切割装备已发往多家客户进行验证。随着国内先进封装市场的发展,将大幅提升市场对减薄相关装备的需求,有助于巩固和提升公司的核心竞争力。

 

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