国家知识产权局信息显示,郑州势垒科技有限公司取得一项名为“种用于金刚石生长的 MPCVD 装置”的专利,授权公告号 CN 222182548 U,申请日期为 2024 年 4 月。
专利摘要显示,本申请涉及一种用于金刚石生长的 MPCVD 装置,包括壳体,其具有上盖,壳体内设有水冷台,水冷台上端设有钼台,水冷台和上盖之间设有呈圆环形的微波石英罩,上盖、微波石英罩和水冷台围成反应腔,上盖上设有与上盖密封连接的多个视窗和与反应腔连通的进气通道,水冷台包括水平部和伸出壳体底部的竖直部,水冷台内设有与反应腔连通的出气通道,水冷台内还设有液冷通道,液冷通道具有进水通道和出水通道。本申请反应腔密封效果好,能有效隔离外界空气,维持了反应腔内真空工作环境。