国家知识产权局信息显示,苏州立琻半导体有限公司申请一项名为“p型AlGaN材料及其制备方法、紫外光电子器件的制备方法”的专利,公开号CN 119133328 A,申请日期为2024年11月。
专利摘要显示,本申请涉及一种p型AlGaN材料及其制备方法、紫外光电子器件的制备方法,属于半导体技术领域,p型AlGaN材料的制备方法包括:在第一温度下,通入有机金属源和N源,生长p型AlGaN材料;暂停通入有机金属源,在第二温度下保持一定时间,使p型AlGaN材料中的部分Ga原子逸出,从而在p型AlGaN材料中产生阳离子空位;其中,第二温度高于第一温度,第二温度与第一温度的差值的范围为20℃至200℃。由此,提高了p型AlGaN材料的空穴浓度。