国家知识产权局信息显示,成都氮矽科技有限公司申请一项名为“一种 N 面增强型 GaN 双向功率器件及其制备方法”的专利,公开号 CN 119133228 A,申请日期为 2024 年 9 月。
专利摘要显示,本申请提供一种 N 面增强型 GaN 双向功率器件及其制备方法,包括衬底、AlN 成核层、缓冲层、C 掺杂 AlGaN 层、AlGaN 势垒层、GaN 沟道层以及钝化层,栅极金属位于栅极区域并与 GaN 沟道层连接,第一漏极与第二漏极设置于栅极区域的两侧,第一漏极包括第一肖特基接触金属和与其连接的第一欧姆接触金属,第二漏极包括第二肖特基接触金属和与其连接的第二欧姆接触金属;第一肖特基接触金属与 AlGaN 势垒层连接形成第肖特基接触第欧姆接触金属与 GaN 沟道层连接形成第一欧姆接触,第二肖特基接触金属与 AlGaN 势垒层连接形成第二肖特基接触,第二欧姆接触金属与 GaN 沟道层连接形成第二欧姆接触,以提高器件的抗辐照能力。