华虹半导体申请集成半导体器件及其制备方法专利,提高芯片整体抗EMI能力

日期:2024-12-19 阅读:224
核心提示:国家知识产权局信息显示,华虹半导体(无锡)有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司申请一项名为集成半导体器件及其制备方法

 国家知识产权局信息显示,华虹半导体(无锡)有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司申请一项名为“集成半导体器件及其制备方法”的专利,公开号 CN 119133083 A,申请日期为2024年8月。

专利摘要显示,本申请提供一种集成半导体器件及其制备方法,其中集成半导体器件的制备方法中,采用DTI(第一深沟槽隔离结构、第二深沟槽隔离结构)和SOI(底层硅衬底、中间氧化层和顶层硅衬底)结合,形成全介质隔离,从而完全隔离SOI上的CMOS器件(本实施例以NMOS器件为例)和LDMOS器件,提高了芯片整体的抗EMI能力,并完全杜绝寄生双极效应,消除了闩锁的风险,从而提升了电路工作可靠性。

 

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