近日，南京埃米仪器科技有限公司宣布完成数千万元Pre-A轮融资，由博将资本领投。此次融资将主要用于提升公司在先进半导体制程用高精密量测设备的国产替代能力，丰富产品种类，并加大市场开拓力度。
埃米仪器成立于2022年，专注于国内精密3D量测设备的国产化和核心技术的攻克。公司的产品主要应用于芯片制程中的微结构量测和缺陷检测，旨在解决相关领域的技术难题。目前，埃米仪器的产品和技术已获得国内领先芯片制造企业的认可，对推动国内先进工艺的发展、提高芯片制造良率、缩短制程研发周期具有重要意义。公司创始人杨见飞博士拥有多年先进量测和封装设备研发经验，领导着一支强大的研发团队，与南京大学、山东大学、南智光电研究院等国内外科研院所、机构建立了密切合作关系。
量测设备在半导体设备市场中占有重要地位，规模约占市场份额的15%。量测设备能够在生产中监测、识别、定位、分析工艺缺陷，对晶圆厂及时发现问题、改善工艺、提高良率起到至关重要的作用。随着集成电路继续多层化、复杂化，量测设备的重要性日益凸显。然而，中国半导体量检测设备市场被国际厂商高度垄断，是半导体设备中除光刻机外国产化率最低的领域。
原子力显微镜（AFM）是目前精度最高的量测设备之一，也是目前唯一能集检测和修复为一体的技术手段。AFM通过一个微小的针尖与样品表面相互作用，以实现高分辨率的表面成像。埃米仪器已推出多款量测设备，并持续推出新型设备。其在线工业级原子力显微镜已完成某芯片头部企业的产品正式交付。技术方面，埃米仪器通过申请专利构筑技术壁垒，目前公司已得到专利授权20余项，相关专利覆盖原子力显微镜和光学量测设备，涉及光电器件、精密机械、定位系统、电气设计等。博将资本该项目负责人陆元昊表示，量测设备未来将与光刻设备并行发展，发挥至关重要的作用，而原子力显微镜作为精度最高的量测设备，在先进制程中正在成为量检测主力设备。埃米仪器仅成立2年时间便成功研发出国内首台在线工业级原子力显微镜并已实现在某头部芯片客户交付。同时，公司通过推动高通量AFM、混合量测等方式弥补传统AFM机台在量检测速度的限制，将大大拓宽传统原子力显微镜的应用领域。
