11月4日，睿励科学仪器完成近5亿元战略融资，本轮融资由金石投资和招商致远联合领投，资金将用于提升半导体制程用光学量检测设备的国产替代能力，丰富产品种类，并加大市场开拓力度。
睿励科学仪器成立于2005年，专注于开发、生产和销售具有自主知识产权及核心技术的光学量检测设备，服务集成电路芯片制造工艺。作为国内首批半导体前道工艺国产设备公司，睿励科学仪器也是国内首家专注于量检测领域的半导体设备公司。
睿励科学仪器的主要产品包括薄膜测量、尺寸光学检测设备，以及硅片厚度和翘曲测量设备等，现已成功进入三星和长江存储的生产线，新研制的缺陷检测设备也已在下游客户中得到应用。
在缺陷检测方面，睿励科学仪器推出了FSD系列、WSD系列和BriteSD系列设备，其中WSD系列是首款应用于半导体前道工艺并具备量产能力的国产缺陷检测设备。目前，公司正在进行LED、显示面板及化合物半导体领域的客户验证。
据悉，WSD系列产品专为集成电路芯片及泛半导体工艺（如SiC、OLED、Micro LED等）设计，提供高精度光学晶圆外观缺陷检测，最高检测精度可达100nm，兼容4~12英寸晶圆，支持明场和暗场检测。
值得一提的是，睿励科学仪器与中微公司有着密切的合作关系。2023年，中微公司以5790.21万元收购了睿励科学仪器6.76%的股权，旨在促进产业链延伸并培育新的业务增长点。中微公司主要从事高端半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售，业务涵盖半导体集成电路制造、先进封装、LED外延片生产、功率器件、MEMS制造等领域。
（来源：LEDinside）
