2024年11月18-21日，第十届国际第三代半导体论坛（IFWS2024）&第二十一届中国国际半导体照明论坛（SSLCHINA2024）、先进半导体技术应用创新展（CASTAS）将在苏州国际博览中心举办。
马尔文帕纳科将携多款设备产品亮相此次展会。值此，诚挚邀请第三代半导体产业同仁共聚论坛，莅临A12号展位参观交流、洽谈合作。
关于马尔文帕纳科
马尔文帕纳科，微观分析领域的专家，致力于释放微观世界的力量，促成宏观世界的改变。通过利用专业的化学、物理和结构分析技术及广泛的行业知识和应用经验，帮助您开发质量更好的产品，并缩短产品的上市时间。主要产品有X射线衍射仪、X射线荧光光谱仪、激光粒度仪、纳米粒度电位仪等等。
马尔文帕纳科X射线分析技术具有近百年的发展历史，是全球主要的X射线分析软硬件供应商。其备受认可的高分辨X射线衍射仪为半导体外延分析而设计，可进行单晶外延、非晶、多晶薄膜量测，提供厚度和超晶格周期、成分和失配率、应变和弛豫、曲率半径、衬底材料取向等关键参数。测量晶圆最大直径可达300mm，轻松集成自动装片系统。
2023年弗莱贝格（Freiberg）的部分XRD业务并入马尔文帕纳科（Malvern Panalytical），多款单晶定向仪将为国内半导体生产企业提供更快速、更精准的单晶定向测量，进一步提高晶圆产品的良率。
马尔文帕纳科隶属于精密仪器与过程控制设备制造商英国思百吉集团。
Malvern Panalytical
Malvern Panalytical, an expert in the field of microanalysis, is committed to unleashing the power of the microscopic world to effect changes in the macroscopic world. By leveraging professional chemical, physical, and structural analysis technologies, along with extensive industry knowledge and application experience, we help you develop higher quality products and shorten the time to market. Our main products include X-ray diffractometers, X-ray fluorescence spectrometers, particle size analyzers, and more.
Malvern Panalytical's X-ray analysis technology has a development history of nearly a century and is a major global supplier of X-ray analysis software and hardware. Its highly recognized high-resolution X-ray diffractometers are designed for semiconductor epitaxy analysis, capable of measuring single crystal epitaxy, amorphous, and polycrystalline thin films. It provides key parameters such as thickness and superlattice period, composition and mismatch rate, strain and relaxation, curvature radius, and substrate material orientation. The maximum diameter of the wafer that can be measured is up to 300mm, and it can be easily integrated with an automatic sample loading system.
In 2023, part of the XRD business in Freiberg was integrated into Malvern Panalytical. Several single crystal orientation instruments will provide domestic semiconductor production enterprises with faster and more accurate single crystal orientation measurements, further improving product yield.
Malvern Panalytical is part of Spectris plc, the productivity-enhancing instruments and controls company.
产品介绍
1，产品名称：X’Pert3 MRD/XL新一代高分辨X射线衍射仪
产品特点及应用：马尔文帕纳科新一代 X'Pert³ MRD (XL) 高分辨X射线衍射仪，专为薄膜分析打造，具有全新编码定位技术测角仪、PreFIX预校准光路系统，适用高负载条件的欧拉环样品台，允许装载200mm-300mm的晶圆，PIXcel3D探测器实现高动态范围的测量，灵活切换0D-1D-2D静态及扫描模式。性能的改进大大增强其可靠性，进一步提高了分析能力。可提供一体化解决方案来满足不同需求和应用：
• 半导体和单晶晶圆：倒易空间探索、摇摆曲线分析
• 多晶固体和薄膜：织构分析、反射测量
• 超薄薄膜、纳米材料和非晶层：掠入射物相鉴定、面内衍射
• 非常温条件下的测量：随温度和时间变化的峰高
2，产品名称：Empyrean 锐影多功能X射线衍射仪
产品特点及应用：Empyrean 锐影具有在一台仪器上测量多种类样品的能力，无论是粉末、薄膜还是纳米材料与固体物体。作为马尔文帕纳科第三代Empyrean锐影，具有智能 “MultiCore”多核光路系统，无需人工干预即可实现多种类的不同测量。外延薄膜分析中，Empyrean锐影可以放置最大140毫米的晶圆，对2英寸的晶圆或晶圆碎片进行完整XY Mapping。此外，在薄膜分析领域的应用还包含有：
· 物相鉴定（和深度剖析）
· X射线反射
· 薄膜应力分析
· 织构分析
· In-plane衍射
· 外延层分析
· 倒易空间Mapping
· 非常温环境条件下测量
3，产品名称：Omega/Theta 晶向定位仪
产品特点及应用：
· 测试速度快：10s
· 测角精度高：0.003°
· 端面及参考边定向
· SiC铸锭粘接转移技术
· Flat/Notch的光学测量功能
· 铸锭及晶圆的面扫
· 摇摆曲线单点检测及面扫
4，产品名称：SDCOM晶向定位仪
产品特点及应用：
· 测试速度快：10s
· 测角精度高：0.01°
· 台式设备，无需水冷
· 多种样品台可选
· 晶圆片及铸锭面扫
· SiC铸锭粘接转移技术
· Flat/Notch的光学测量功能
参会联系：
今年，第十届国际第三代半导体论坛&第二十一届中国国际半导体照明论坛（IFWS＆SSLCHINA2024）将于11月18-21日在苏州国际博览中心举办，国内外院士专家齐聚，数十场会议活动，数百位报告嘉宾，全产业链知名企业参与&参展，内容全面覆盖行业工艺装备、原材料、技术、产品与应用各环节，融合聚集产、学、研、用、政、金多个层面的资源，年度国际第三代半导体产业“风向标”盛会，11月相聚苏州，共襄盛会，共谋发展！欢迎业界同仁咨询参展参会，免费观展交流合作！》》》最新60+报告嘉宾公布！IFWS&SSLCHINA2024报名中！
