壹月科技半导体高纯电子工艺设备生产制造基地项目成功投产

 10月12日，安徽壹月科技有限公司半导体高纯电子工艺设备生产制造基地项目投产启动仪式暨十周年庆典圆满完成。

据介绍，壹月科技半导体高纯电子工艺设备制造基地项目位于合肥新桥科技示范区，占地约20亩，总建筑面积约2万平方米。

项目投产后，将具备年产特气设备2500台、年产化学品成套设备180台、年产尾气处理设备480台、年产气体生产成套设备60台产能规模，有效填补合肥经开区集成电路产业中工艺介质输送设备产业的空白。