9月11日下午,通潮精密控股子公司晶海热瓷投资的半导体设备核心零部件项目正式落地合肥经开区。
通潮精密机械股份有限公司成立于2016年,致力于泛半导体产业关键设备部件的研发及生产,产品主要应用于泛半导体薄膜工艺、刻蚀工艺等关键工艺环节,也是国内首家将面板领域CVD设备、干法刻蚀设备电极部件国产化的企业。
晶海热瓷项目规划总投资数亿元人民币,主要研发、生产及销售半导体设备用陶瓷加热器及结构件、各类金属加热器等产品。
9月11日下午,通潮精密控股子公司晶海热瓷投资的半导体设备核心零部件项目正式落地合肥经开区。
通潮精密机械股份有限公司成立于2016年,致力于泛半导体产业关键设备部件的研发及生产,产品主要应用于泛半导体薄膜工艺、刻蚀工艺等关键工艺环节,也是国内首家将面板领域CVD设备、干法刻蚀设备电极部件国产化的企业。
晶海热瓷项目规划总投资数亿元人民币,主要研发、生产及销售半导体设备用陶瓷加热器及结构件、各类金属加热器等产品。