天眼查知识产权信息显示,苏州晶湛半导体有限公司取得一项名为“半导体结构及其形成方法“,授权公告号 CN113169227B,申请日期为 2018 年 9 月。专利摘要显示,提供了一种半导体结构及其形成方法。该半导体结构包括:衬底和设置在衬底上的外延层。外延层的至少一部分掺杂有金属原子,靠近衬底的外延层的下表面的金属原子的掺杂浓度高于 1×1017atoms/cm3。
天眼查知识产权信息显示,苏州晶湛半导体有限公司取得一项名为“半导体结构及其形成方法“,授权公告号 CN113169227B,申请日期为 2018 年 9 月。专利摘要显示,提供了一种半导体结构及其形成方法。该半导体结构包括:衬底和设置在衬底上的外延层。外延层的至少一部分掺杂有金属原子,靠近衬底的外延层的下表面的金属原子的掺杂浓度高于 1×1017atoms/cm3。