8月16日,据企查查显示,苏州矽视科技有限公司完成A+轮融资,投资方为渶策资本。
矽视科技成立于2021年6月,目前已经完成7轮融资。公司专注于高端半导体晶圆量检测设备的研发、生产和服务,致力于自主研发具有完全自主知识产权、满足行业需求的国产电子束成像量检测设备。
目前公司的产品主要有两种,分别为CDSEM关键尺寸量测设备、EBI电子束缺陷检测设备。其中CDSEM关键尺寸量测设备借助高分辨率低压扫描电镜技术,获取图形晶圆的纳米级成像,实现I0制造过程中,光刻及刻蚀工艺站点的关键尺寸CD(Critical Dimension)的测量和监控,以确保良率。可以覆盖28纳米以上成熟工艺,满足 6/8/12寸硅基,碳化硅,氮化镓,蓝宝石等基片的量测需求。