据佛山南海区科技局官微消息，7月11日，广东中科半导体微纳制造技术研究院（以下简称“广东微纳院”）半导体微纳加工中试平台通线暨项目签约仪式在佛山南海举行。会上，广东微纳院半导体微纳加工中试平台通线，微纳院二期项目正式封顶，一批半导体项目现场签约。
广东微纳院是由佛山市、南海区两级政府共同建设，中国科学院苏州纳米所支持的广东省省属事业单位，聚焦芯片制造环节，搭建先进半导体工艺研发体系，形成半导体材料外延生长、芯片加工、封装测试等全链条中试服务模式。据介绍，平台建成后，将具备8吋硅晶圆和氮化镓晶圆加工能力。
活动现场，苏州敏芯微电子技术股份有限公司、科大讯飞股份有限公司、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所等12家企业、科研院所与广东微纳院签订中试合作协议。未来，广东微纳院“半导体材料外延与表征”、“半导体微纳加工”两大中试平台将分别为合作企业提供提供外延定制、表征测试及全流程中试流片、技术咨询等多种中试服务。
依托半导体中试平台，广东微纳院于2023年启动二期建设。二期定位为产业孵化区，建设6万平方米专业化半导体产业载体，其中洁净厂房3.4万平方米，预计2025年一季度进入试运行阶段，将打造成为华南地区洁净面积最大、产业链覆盖最全的专业化技术驱动型主题园区。当日举行了二期产业孵化区封顶仪式，6家企业与广东微纳院签订了意向落户协议，三期项目规划正在推进。
