北京大学申请金刚石基氮化物半导体异质结构制备方法专利,能够得到高质量且低热阻的金刚石基氮化物半导体异质结构

日期:2024-07-01 阅读:239
核心提示:天眼查知识产权信息显示,北京京运通科技股份有限公司申请一项名为一种热丝CVD法金刚石炉的专利,公开号CN202410315500.8,申请

天眼查知识产权信息显示,北京京运通科技股份有限公司申请一项名为“一种热丝CVD法金刚石炉“的专利,公开号CN202410315500.8,申请日期为2024年3月。

专利摘要显示,本发明涉及公开了一种热丝CVD法金刚石炉,该金刚石炉包括锅炉以及位于锅炉内的基台、衬板、热丝和分水器;基台的顶面朝向锅炉的顶部,基台的内腔包括临近顶面的冷却腔,基台远离顶面的端部伸出锅炉且具有与内腔连通的开口;衬板设置于基台的顶面上,衬板背离顶面的一侧为金刚石生长面,热丝位于衬板与锅炉的顶部之间;分水器位于基台的内腔内,分水器临近开口的一端具有进水口,分水器位于冷却腔内的端部具有与基台的顶面相对的多个出水口和多个回水口,分水器的内腔具有连通进水口与多个出水口的进水通道,分水器的外侧壁与基台的内侧壁之间具有与回水口连通的回流通道。该热丝CVD法金刚石炉能够降低金刚石因温度不均匀产生的应力。

本文源自:金融界

 

 

 

 

 

 

 

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