日前，在丽水经开区的丽水睿昇半导体科技有限公司集成电路制造设备用关键零部件产业化项目建设现场，记者看到，在施工管理人员的精准调度下，运输车辆穿梭不停，各类机械分头有序作业，共同奏响大干快上、冲刺攻坚的“进行曲”。
睿昇半导体是宁波江丰电子材料股份有限公司的二级子公司。后者是专业从事超大规模集成电路高纯金属材料及溅射靶材研发生产的国家高新技术企业，拥有发明专利570项，制定国家、行业技术标准15项，其研发生产的超高纯金属溅射靶材填补了国内空白。
作为宁波江丰电子在丽水投资的3个大项目之一，睿昇半导体集成电路制造设备用关键零部件产业化项目总投资10亿元，于2022年招引落地，主要建设集成电路大型溅射设备零部件生产线，生产传输平台、反应腔、传输腔、焊接反应腔等产品。建成达产后，可实现年产6000套集成电路制造设备用零部件的生产能力，预计可实现年产值15亿元、税收1.1亿元。
目前，项目基础工程已经全部完成，开启了建设冲刺模式。截至目前，项目整体施工进度已达75%，同时大部分设备已进场调试并开始产品打样。预计7月，项目即可实现正式投产。“现在后续工作都在紧锣密鼓地推进，我们也很期待正式投产后自身的表现，希望能有力助推丽水经开区半导体产业更上一层楼！”项目负责人李响说。
龙江产业平台相关负责人表示，作为半导体产业重点项目，睿昇半导体集成电路制造设备用关键零部件产业化项目是丽水经开区加速产业转型升级、推动构建新发展格局的重要抓手。平台会持续做好“后半篇文章”，主动靠前、主动服务，为建设特色半导体“万亩千亿”新产业平台，打造半导体产业新高峰贡献力量。
