近日，据日本中央玻璃股份有限公司（Central Glass）官网消息，该公司将参与日本新能源和工业技术开发组织（NEDO）的绿色创新基金项目，开展“高质量8英寸SiC单晶/晶片制造技术开发”，采用液相法研究和开发SiC晶片。
据介绍，Central Glass自2022 年4月以来就一直在研究开发SiC液相法技术，现该项目已转型为NEDO绿色创新基金资助项目（项目期限为2022财年至2029财年），将进一步助推他们实现世界级高品质8英寸碳化硅晶片的落地量产。
据悉，目前国内对液相法生长碳化硅的研究也是如火如荼，主要研制单位有中科院物理所，山东大学，浙江大学，天岳先进，晶格领域，常州臻晶等等。
2023年，天岳先进在Semicon China展会上宣布，他们通过对温场和流场进行控制等，采用液相法制备出了低缺陷的8英寸晶体。
2024年初，中国科学院物理研究所宣布采用高温液相法，在六方碳化硅(4H-SiC)籽晶上实现了2-4英寸、厚度4-10mm、立方碳化硅(3C-SiC)的异质形核和晶体稳定生长。
