“化合物半导体产业是一条全新赛道，有巨大的想象空间。”上海邦芯半导体科技有限公司CTO梁洁说，只要付出努力，就会有回报。“发展化合物半导体是提升产业基础能力、建立未来战略优势的关键所在。”宁波润华全芯微电子设备有限公司创始人汪钢说，具有巨大想象空间的化合物半导体产业，将给材料、装备等行业带来巨大的市场增长空间。
2024年4月8日至11日，国内化合物半导体领域规模最大、规格最高的标杆性展会——2024九峰山论坛暨中国国际化合物半导体产业博览会将在武汉光谷举行。
多位即将参会、参展的科研界、产业界代表在接受长江日报记者采访时表达了对化合物半导体产业的信心，以及对即将到来的论坛的期待，“在这里，我们既能了解现在，又能看见未来”。
化合物半导体有巨大的想象空间
近年来，伴随着硅半导体材料主导的摩尔定律逐渐走向其物理极限，同时硅也满足不了无线通信、高功率电子和光电子等新需求快速发展的需要，以砷化镓（GaAs）、氮化镓（GaN）、碳化硅（SiC）等为代表的化合物半导体产业作为典型的新兴产业，正处在产业快速上升期。
SPTS是一家总部位于英国的蚀刻和沉淀工艺解决方案及设备供应商，向全球领先的半导体设备制造商和研究机构提供先进的晶圆加工解决方案，在化合物半导体领域处于引领者位置。“新时期发展化合物半导体产业将是半导体产业的重要发展方向。”公司中国区销售负责人易义军说。
SPTS在化合物半导体领域处于引领者位置。企业供图
在他看来，化合物半导体产业相对而言投资规模小、市场前景好、具备“换道超车”的机会，尤其是对新能源汽车、光电子产业、光纤通信网络以及5G通信等新兴市场有广泛的应用价值。
“相比传统的硅基半导体，化合物半导体本身的特性决定了它将具有巨大的想象空间，硅基半导体做不到的，化合物半导体有可能做到。”梁洁介绍，化合物半导体的快速发展对设备和工艺提出了新的挑战，“有想象空间，有挑战，不受限，这就是我们发力化合物半导体产业的原因所在”。
据介绍，致力于为集成电路及泛半导体行业提供高性价比的半导体设备，邦芯半导体专注于第三代化合物半导体领域，研发了众多拥有自主知识产权的产品，如6/8寸刻蚀机和6/8寸钨薄膜沉积设备，填补国内诸多领域空白。
2016年成立的全芯微电子同样是一家半导体装备及工艺方案提供商，推出了匀胶显影机、去胶剥离机、刻蚀清洗机等一系列高端半导体装备。在汪钢看来，化合物半导体行业快速发展背后，离不开更多设备的升级迭代与技术创新，“与之相关的行业都将扩大增长空间”。
“始终聚焦新型电子器件制造领域，持续提供有竞争力的工艺方案和设备支撑，与上下游企业一同为化合物产业发展助力。”汪钢说。
光谷化合物半导体产业生态加速形成
当前，光谷一批化合物半导体项目加快突破。
先导科技集团高端化合物半导体材料及芯片产业化基地项目近日签约落地光谷。公司董事长朱世会说，将加大与武汉高校院所科研合作，推动半导体材料研发不断取得新突破。
光谷科学岛上，总投资200亿元的长飞先进武汉基地正加快建设，项目一期预计今年7月封顶，建成后可年产36万片6英寸碳化硅晶圆及外延。
光谷“强引力”背后，完整的产业生态和强大的研发能力是支撑。作为国内四大集成电路产业基地之一，光谷已聚集一批集成电路产业龙头企业，形成了存储芯片、化合物半导体芯片为两大产业方向，涵盖设计、制造、装备、材料及分销、模组等产业链关键环节的产业集群。。
采访中，记者了解到不少企业都已与湖北九峰山实验室建立合作关系。作为湖北省十大实验室之一，2021年成立的九峰山实验室聚焦化合物半导体的研发与创新，已建成全球化合物半导体产业最先进、规模最大的科研及中试平台。
“和九峰山实验室合作很多年，你中有我，我中有你。”梁洁介绍，作为半导体设备提供商，邦芯半导体为九峰山实验室提供了多款先进的加工设备，与此同时，邦芯半导体生产的设备也在九峰山实验室完成了检测和验证并得以进一步改进，“我们不是甲乙方的关系，而是合作伙伴，共赢关系”。
作为封装设备国产原厂，南京屹立芯创半导体科技有限公司除泡品类全线设备对化合物半导体的应用领域适用非常广泛，能大幅提升产品稳定性及良率问题。目前，该公司与九峰山实验室达成滤波器产品领域的合作，晶圆级贴压膜系统创新的真空下贴膜和自主开发的加热软垫气囊式压合技术，有效解决因预贴膜在真空压膜过程中产生气泡或是干膜填覆率不佳的问题。
屹立芯创除泡品类全线设备对化合物半导体的应用领域适用非常广泛。企业供图
“九峰山实验室作为高规格新型研发机构，发展迅速，影响力深远。”屹立芯创相关负责人说，作为国产设备原厂，和九峰山实验室的合作也能凸显“为中国芯，造屹立器”的企业使命。
“九峰山实验室是SPTS在中国化合物半导体领域重要的战略合作伙伴。”易义军介绍，SPTS与九峰山实验室在多个化合物半导体项目上有着全面深入的合作，“九峰山实验室先进开放的中试平台，构建了化合物半导体产业链上下游紧密合作的联合体，解决了众多高校和企业在产品研发和产业化过程中的诸多堵点、断点和难点，将加速产品和创新成果落地”。
伴随着越来越多企业的到来，光谷化合物半导体产业生态正在加速形成。目前，以九峰山实验室为核心的九峰山科技园正在加快推进，园区内，投资50亿元的化合物半导体孵化加速及制造基地计划在明年投入使用，力争3年内引育企业100家。
九峰山论坛有着多方面、多维度的意义
据了解，2024九峰山论坛采取“1主+8专+多场行业专题会+多场展边会”模式，将由10多位国内外院士领衔出席，围绕化合物半导体关键材料、化合物半导体核心装备、EDA工具与生态链、光电子技术、功率电子技术、无线电子技术、先进半导体检测技术与标准、化合物半导体投融资趋势等方向，共计150余位嘉宾分享行业报告，全面覆盖产业发展前沿热点。
“我们希望能在论坛中和多方生态链企业交流先进技术，提升设备化合物半导体针对性解决方案，打造标杆案例。”屹立芯创相关负责人表示。
继首届九峰山论坛之后，梁洁将再度参加今年的盛会。去年，他趁在分论坛做分享嘉宾的空隙，专程到主论坛听其他嘉宾的演讲，“九峰山论坛既有产业界的嘉宾，也有来自学术界的，产业界谈的是现在，学术界讲的是未来，对行业发展有很大的指导意义，让我们更清楚第三代半导体的发展方向”。
首届九峰山论坛人气火爆。九峰山实验室供图
去年的论坛上，梁洁认识了来自全国各地的许多优秀供应商，并与其中的一家武汉供应商达成了合作。“既提供了交流的平台，又搭建了合作的桥梁，这场论坛有着多方面、多维度的意义。”他感慨。
本次九峰山论坛首次采用“展+会”的模式，论坛举行的同时还将在光谷科技会展中心举办中国国际化合物半导体产业博览会。除中国本土厂商以外，来自欧美等10多个国家的15家国际顶级企业参展。众多国际龙头企业齐聚中国展示最新技术与产品，在全球化合物半导体领域内也是首次。
作为九峰山实验室重要的设备供应商，SPTS将在九峰山期间展示其在化合物半导体等应用领域的最新产品和工艺解决方案。“希望通过本次论坛加强与化合物半导体行业客户之间的沟通与合作，共同探索发展新机遇，为公司未来发展注入新的动力。”易义军说。
汪钢受邀在九峰山论坛分享的同时，还将携带公司最新推出的单片式清洗机参展，这也是他第二次参加九峰山论坛。“相互交流学习，促进产业上下游协同发展。”他期待未来的九峰山论坛发展为全球最大的化合物半导体标杆性展会之一，吸引更多的海外客户参展，“目前很多第三代半导体还是依赖海外设备制造，希望有越来越多这样的盛会，让更多人看到中国化合物半导体厂商的身影”。
“融合创新，聚力共赢，共同推动半导体产业的进一步发展，为世界科技的发展作出更大的贡献。”恰如爱发科（苏州）技术研究开发有限公司董事总经理杨秉君所期望的，一座化合物半导体的创新灯塔正在武汉点亮，燃遍全国、走向世界。
（来源：长江日报）
