2024年4月8-11日,一年一度化合物半导体行业盛会——2024九峰山论坛暨中国国际化合物半导体产业博览会(简称“JFSC&CSE”)将于武汉光谷科技会展中心举办。新耕(上海)贸易有限公司将携新品亮相本届盛会,诚邀业界同仁莅临A116展台参观、交流合作。
本届CSE博览会由第三代半导体产业技术创新战略联盟、九峰山实验室共同主办,以“聚势赋能 共赴未来”为主题,将汇集全球顶尖的化合物半导体制造技术专家、行业领袖和创新者,采用“示范展示+前沿论坛+技术与商贸交流”的形式,为产业链的升阶发展搭建供需精准对接平台,助力企业高效、强力拓展目标客户资源,加速驱动中国化合物半导体产业链的完善和升级。
CSE作为2024年首场国际化合物半导体产业博览会得到了多方力量的大力支持,三大主题展区,六大领域,将集中展示各链条关键环节的新技术、新产品、新服务,将打造化合物半导体领域的标杆性展会。助力打造全球化合物半导体平台、技术、产业的灯塔级盛会,集中展示化合物半导体上下游全产业链产品,搭建企业发布年度新产品新技术的首选平台,支撑产业链及中部地区建设具有全球影响力的万亿级光电子信息产业集群。
新耕(上海)贸易有限公司于2002年在上海成立,目前员工人数148人。新耕(上海)是辛耘企业全资子公司,辛耘企业台湾上市时间2013年,编号3883。主要提供的产品项目包括半导体 (前段、后段)、化合物半导体、MEMS微机电、TFT/LCD等半导体相关行业。辛耘在半导体及相关产业深耕超过40+年,不论是半导体12”先进制程的尖端产业亦或是化合物半导体、MEMS微机电、TFT/LCD等半导体相关产业都已建立深厚的客户基础及专业的技术团队。
产品介绍
Plasma-Therm是致力于RIE/ICP以及PECVD工艺设备的知名提供商, 其设备涵盖2”~ 8”主流ICP干法刻蚀工艺,广泛应用于三五族(GaAs / SiC )、GaN功率及射频器件、VCSELs器件等化合物产业,以及MEMS和Si基半导体产业。
设备特点:
◆ Plasma-Therm公司有将近40年研发及制造干法刻蚀设备的历史
◆ Plasma-Therm设备具有高稳定性与高可靠度
◆ Plasma-Therm自有的软硬件设计及完善QC系统
◆ Plasma-Therm设备配置灵活,包含手动、半自动、全自动(片盒对片盒)型号满足实验室研发及量产客户需求
◆ Plasma-Therm设备在化合物半导体行业内高占有率:目前世界范围内装机数量超过2000台
◆ Plasma-Therm RIE / ICP设备:
l 刻蚀速率可调;
l 低损伤控制(专利技术);
l 侧壁的角度和粗糙度控制技术;
l 极佳的刻蚀均匀性控制;
l 极佳的批次均匀性控制;
l 超长的平均开腔清洁时间间隔以及精准灵敏的刻蚀断点监测技术;
◆Plasma-Therm连续15年被VLSI评为10 Best设备供应商
设备简介: KLA Candela®8520表面缺陷及外延缺陷检测设备
Candela®8520表面缺陷及外延缺陷检测设备是针对化合物半导体行业(Si硅片及SiC基片及SiC外延片)的缺陷检查分析设备。该设备利用激光扫描样品的整个表面,通过多组频道(散射光频道、反射光频道、相移频道及Z频道)的探测器所收集到的信号,快速的将缺陷(包括微粒、划伤、坑点、污染、痕迹等)进行分类,统计每一种缺陷的数量并且量测出相应的缺陷尺寸,后给出整个表面的缺陷分布图以及检测报告。根据预先设定的标准,可以给出检测样品合格与否的判断。同时可以添加的PL功能可以针对化合物外延材料进行高精度的外延缺陷检测,在化合物外延领域拥有很高的市场占有率。
适用于Si晶圆,SiC基片及SiC外延片表面缺陷及EPI外延缺陷的检测分析,包含微粒、划伤、坑点、污染、痕迹,同时也可以添加PL功能用以检测某些GaN EPI缺陷及SiC EPI缺陷。该设备可以兼容透明片和不透明片。
设备特点:
◆ 标准夹具从2英寸到8英寸的样品,也可按需订制方片和碎片夹具;
◆ 可用于不透明及透明的材料的表面缺陷检测;
◆ 可侦测的缺陷类型:颗粒,划伤,突起,凹坑,水渍等;
◆ 可侦测化合物外延材料的专有外延缺陷(包含SiC外延);
◆ 手动8500和自动传输模式8520;
◆ 高精度的颗粒缺陷灵敏度(60nm直径);
◆ 强大的自动缺陷分类、统计分布和判别软件。缺陷分布图以及检测报告内的每一个缺陷都有4个频道拍到的照片储存在设备内部,这些照片可以辅助技术人员分析缺陷的成因及进行相关验证。
◆ 内部的过滤器可以保证内部的洁净环境为10级,防止内部污染的同时该仪器还能长期保持稳定准确。拥有優秀的售后服务保障体系。
设备简介: P-7是KLA公司的第八代探针式台阶仪系统,历经技术积累和不断迭代更新,集合众多技术优势。P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的卓越测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。从可靠性表现来看,P-7具有业界领先的测量重复性。UltraLite®传感器具有动态力控制,良好的线性,和精准的垂直分辨率等特性。友好的用户界面和自动化测量可以适配大学、研发、生产等不同应用场景。
设备特点:
§ 台阶高度:几纳米至1000μm
§ 微力恒力控制:0.03至50mg
§ 样品全直径扫描,无需图像拼接
§ 视频:500万像素高分辨率彩色摄像机
§ 圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差
§ 生产能力:通过测序,模式识别和SECS / GEM实现全自动化
企业名称:新耕(上海)贸易有限公司
企业官网:http://www.scientech.com.cn/
联系人:奚女士
联系电话:18918393337
邮箱:sunny.xi@scientech.com.cn
公司地址:上海浦东新区福山路450号新天国际大厦22A室
值此之际,我们诚邀业界同仁共聚本届盛会,莅临展位现场参观交流、洽谈合作。
关于JFSC&CSE 2024