品牌推荐│Axcelis诚邀您参加CSE化合物半导体产业博览会

日期:2024-03-14 阅读:380
核心提示:解决方案提供商Axcelis将亮相本届盛会,诚邀业界同仁莅临A112展台参观、交流合作。

 2024年4月9-11日,一年一度化合物半导体行业盛会——2024九峰山论坛暨中国国际化合物半导体产业博览会(简称“JFSC&CSE”)将于武汉光谷科技会展中心举办。解决方案提供商Axcelis将亮相本届盛会,诚邀业界同仁莅临A112展台参观、交流合作。

 

 

本届CSE博览会由第三代半导体产业技术创新战略联盟、九峰山实验室共同主办,以“聚势赋能 共赴未来”为主题,将汇集全球顶尖的化合物半导体制造技术专家、行业领袖和创新者,采用“示范展示+前沿论坛+技术与商贸交流”的形式,为产业链的升阶发展搭建供需精准对接平台,助力企业高效、强力拓展目标客户资源,加速驱动中国化合物半导体产业链的完善和升级。

CSE作为2024年首场国际化合物半导体产业博览会得到了多方力量的大力支持,三大主题展区,六大领域,将集中展示各链条关键环节的新技术、新产品、新服务,将打造化合物半导体领域的标杆性展会。助力打造全球化合物半导体平台、技术、产业的灯塔级盛会,集中展示化合物半导体上下游全产业链产品,搭建企业发布年度新产品新技术的首选平台,支撑产业链及中部地区建设具有全球影响力的万亿级光电子信息产业集群。

  

45年以来, Axcelis一直在为半导体行业提供高产能,创新型的解决方案。Axcelis致力于通过设计、制造离子注入系统并提供产品生命周期的全程支持来推动离子注入相关制程,这是集成电路制造众最关键的赋能步骤之一。想要了解更多,请点击www.axcelis.com.

产品介绍

Purion XE Series
Purion XE Series

Purion XE系列单片式高能离子注入平台结合了RF线性加速器(LINAC)的制程和生产力优势,且具有Purion平台的可靠性、高精准度及工艺灵活性。Purion XE系列的基础产品是Purion XE,还包括能量范围更广的Purion EXE、Purion VXE和Purion XEmax。此外,还提供适用于功率器件市场的Purion XE和Purion EXE Power系列。

2Purion H Series
Purion H Series
Purion H系列是Axcelis先进的单片式大束流离子注入平台。Purion H采用增强型点状离子束扫描技术,开创了旨在提升良率的离子注入技术新时代。Purion H为客户提供了前所未有的工艺控制水平,以应对转换成3D器件的新挑战。

3)Purion M Series
Purion M Series

Purion M是唯一适用于中、低剂量所有沟道工艺应用的中束流离子注入平台。该平台可提升单片晶圆产能,涵盖了传统中束流工艺、低能量中剂量HALO离子注入和亚兆电子伏特阱区注入新兴工艺。Purion M是Purion Power Series的最初产品成员。

值此之际,我们诚邀业界同仁共聚本届盛会,莅临展位现场参观交流、洽谈合作。

关于JFSC&CSE 2024

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