据国家知识产权局公告,长鑫存储技术有限公司申请一项名为“晶圆级封装方法“,公开号CN117690804A,申请日期为2022年9月。
专利摘要显示,本公开实施例提供一种晶圆级封装方法,包括:提供晶圆;在晶圆中形成电连接结构,电连接结构底部位于晶圆中,晶圆顶面露出电连接结构的顶部;在晶圆上形成芯片,芯片与电连接结构顶部电接触;在晶圆上形成封装结构,芯片位于封装结构中;对晶圆底面进行第一背磨工艺,以露出电连接结构的底部;形成导电结构,导电结构与电连接结构底部接触。本公开实施例至少有利于提高晶圆封装的良率。