据国家知识产权局公告,比亚迪(002594)半导体股份有限公司申请一项名为“终端结构及其制造方法以及功率器件“,公开号CN117673117A,申请日期为2022年8月。
专利摘要显示,本发明属于半导体技术领域,特别是涉及终端结构及其制造方法以及功率器件。终端结构包括第一电极层、绝缘介质层、衬底和第二电极层,绝缘介质层、衬底和第二电极层层叠设置,衬底上设置有主结、掺杂场终止环、第一场限环和掺杂层,主结设置在衬底的内侧,掺杂场终止环设置在衬底的外侧,第一场限环环绕主结,掺杂层沿着第一场限环的一侧的外壁延伸至第一场限环的底部;掺杂层的掺杂浓度大于衬底的掺杂浓度。本发明实施例提供的终端结构,掺杂层掺杂浓度大于衬底的掺杂浓度,能够对电场具有牵引作用,从而减轻电场在绝缘介质层表面的集中作用,减小表面电场,提高击穿电压,提高耐压值。