天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司”一种半导体设备及其晶圆传输腔室和晶圆传输方法“专利获授权，授权公告日为11月14日，授权公告号为CN111261565B。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体设备及其晶圆传输腔室和晶圆传输方法，其中晶圆传输腔室包括，抽气组件，用于从所述腔室本体中抽气；标记检测组件，位于所述腔室本体中，用于检测晶圆上的对准标记；定位校准组件，位于所述腔室本体中，用于承载晶圆，带动晶圆旋转，并在所述标记检测组件检测到所述对准标记后，逐渐停止旋转，使晶圆停止在一预设位置处。
据悉，本发明的有益效果在于，在对晶圆传输腔室抽真空的过程中通过标记检测组件检测晶圆的对位标记，通过定位校准组件实现对晶圆的定位校准，将原来分步进行的步骤（晶圆定位校准和腔室抽真空）合并在一个步骤中同时进行，缩短了晶圆的传输时间，提高了机台的使用效率。
