8月22日,鑫华半导体1500吨硅基电子特气项目开工仪式举行。鑫华半导体消息显示,该项目占地面积约500平方米,将于11月进行系统调试安装,12月底完成试生产。
电子特气是半导体、微电子、集成电路等电子信息产业的关键原材料。鑫华半导体依托自身闭环成套化的电子级多晶硅工艺生产技术,在生产电子级多晶硅的同时得到三氯氢硅,经过特气充装站过滤得到高纯电子级三氯氢硅,大幅降低生产制造成本。项目建成后将进一步提高原料利用率。
此外,鑫华半导体官方消息显示,未来将专注于高端气体的开发研究,打造规模化产业集群,致力于成为高纯硅基电子特气业务领军企业。鑫华半导体是国内率先系统掌握高纯电子级多晶硅制备技术的企业,该公司产品已通过国内大部分领先的半导体硅片厂商认证,并形成规模化销售,实现硅部件从特制尺寸到12寸硅片生产的全覆盖。
(来源:集微)